Logitech 1PM52 抛光机是英国 Logitech 公司生产的一款精密研磨抛光设备。目前关于该型号抛光机的公开资料有限，根据相关专利及产品介绍，其部分信息如下：
适用范围：Logitech 的 PM5 系列精密研磨抛光系统能够完成 4 英寸及以下尺寸样品的小批量处理，1PM52 作为该系列中的一款，推测其适用样品尺寸也在 4 英寸及以下，可用于晶片背减、光纤及波导器件制备、激光棒抛光、MEMS 等领域。
抛光条件：在不同的专利应用中，Logitech 1PM52 抛光机的抛光条件有所不同。例如，使用 12 英寸 politex 抛光垫时，研磨压力可为 3psi 或 4psi，研磨台转速为 70 转 / 分钟，研磨头自转转速 150 转 / 分钟，抛光液滴加速度 100ml/min；使用 IC1010 抛光垫对无定形碳材料进行抛光测试时，研磨台（Platen）和研磨头（Carrier）转速分别为 93rpm 和 87rpm，压力 2.5psi，抛光液流速为 100mL/min。
性能特点：Logitech PM5 系列精密研磨抛光系统具有完善的控制系统，研磨 / 抛光的所有功能，包括盘转速、摆臂设定、滴料速度等，均显示在操作控制显示屏，可通过操纵杆进行参数设定。其夹具具有在线监测功能，可实时显示样品处理的去除量，监测精度 1um，夹具对晶片作用压力可以连续调节，压力调节范围最大可达 0.1 - 7 Kg。此外，该系列抛光机还具有自动化功能增强、操作控制直观、滴料系统精准、耐化学腐蚀等特点，Logitech 1PM52 抛光机可能也具备这些特性。
